证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现中微公司（688012）新取得一项实用新型专利授权，专利名为“一种托盘结构及其外延成长设备”，专利申请号为CN6.6，授权日为2024年3月12日。

　　专利摘要：本实用新型揭露了一种托盘结构及其外延成长设备，该托盘结构包含：基座，其可设置于一旋转座上，所述基座的上外表包含一限位结构，所述限位结构围住构成一洼陷部；衬底支撑件，至少部分地坐落所述洼陷部内，用于承载一衬底，所述衬底支撑件包含一歪斜上外表，所述歪斜上外表包含盘绕所述衬底的内圈区域，至少部分所述内圈区域的高度高于所述衬底上外表的高度。其长处是：经过衬底支撑件的歪斜上外表，有效地降低了衬底飞片的危险，增加了衬底在工艺过程中的稳定性。

　　今年以来中微公司新取得专利授权34个，较去年同期减少了5.56%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研制方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

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